FE-SEM

TESCAN CLARA


Ultra High-Resolution Scanning Electron Microscope (UHR SEM) – Microscopio elettronico a scansione ad altissima risoluzione per la caratterizzazione morfologica di materiali e dispositivi con risoluzione fino a 0,9 nm a 15 kV e 1,6 nm a 1 kV. Lo strumento opera in un intervallo di tensione di accelerazione compreso tra 200 V e 30 kV, consentendo analisi ad alta risoluzione anche a basso voltaggio. L’elevata profondità di campo e la versatilità delle modalità di acquisizione permettono l’osservazione dettagliata di superfici, film sottili, nanostrutture e materiali sensibili al fascio elettronico, sia conduttivi sia non conduttivi.

Microanalisi EDS (Oxford Aztec Live Standard con detector SDD Ultim Max 170) – Sistema per l’analisi elementare dei materiali mediante spettroscopia EDS, dotato di detector SDD con area attiva di 170 mm² e risoluzione energetica di 127 eV. Consente analisi qualitative e quantitative, acquisizione di mappe elementari e profili di concentrazione, integrando informazioni morfologiche e composizionali su scala micro- e nanometrica.

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